医疗与生物芯片领域

医疗领域的微型器件对精度和生物相容性要求极高，晶圆切割机需在 “超洁净环境” 下工作，避免污染。

生物芯片（Biochip）：如基因芯片、蛋白质芯片，晶圆表面集成了大量生物传感器单元，切割需保证每个单元的生物活性不被破坏，且切割后芯片表面无杂质残留，通常需使用 “干式激光切割”（避免切割液污染）。
医疗微型器件：如植入式传感器（血糖监测、心脏监测）、微型手术器械，其晶圆多为生物相容性材料（如陶瓷、蓝宝石或特殊硅基材料），切割需满足医疗级精度（公差＜10μm），同时保证切割面光滑无毛刺（避免植入时损伤人体组织）。